??SEMI S2-0200火災(zāi)防護(hù)規(guī)范


SEMI S2-0200 第14節(jié) Fire Proctection

SEMI S2-0200第14節(jié)－火災(zāi)防護(hù)，適用于設(shè)備內(nèi)的火災(zāi)危害的保護(hù)，提供防火安全設(shè)計(jì)以及設(shè)備控制上最低的安全標(biāo)準(zhǔn)。內(nèi)容有14.2風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估（Risk Assessment）、14.3認(rèn)證報(bào)告（Reporting）、14.4火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)降低（Fire Risk Reduction）、14.5警告和安全工作訓(xùn)練（Warnings and Safe Work Practices）、14.6火災(zāi)偵測(cè)及抑制系統(tǒng)的維修和測(cè)試（Maintenance and Testing of Fire Detection and Suppression Systems）、14.7環(huán)保（Environmental）等幾部分。

在風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估方面強(qiáng)調(diào)「一份風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估的數(shù)據(jù)應(yīng)該由合格的第三者執(zhí)行(或判斷)以確認(rèn)火災(zāi)的潛在危害以及合適的控制方法。風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估應(yīng)該考慮設(shè)備內(nèi)部正常操作及合理的可以預(yù)見的單一點(diǎn)失效。不考慮外部引火源的曝露?！?，風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估者需具有專業(yè)專門知識(shí)來從事火災(zāi)危害風(fēng)險(xiǎn)分析，其資格請(qǐng)看SEMI S7 。

而一份認(rèn)證的報(bào)告應(yīng)對(duì)每種辨識(shí)出的殘存火災(zāi)危害，有以下的三個(gè)特性：1.被指出的嚴(yán)重性、2.被指出的可能性，3.風(fēng)險(xiǎn)分類的結(jié)果。此份報(bào)告可作為采購(gòu)部門采購(gòu)設(shè)備的規(guī)范依據(jù)之一。

火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)的降低可從幾個(gè)方面著手：
1.      選用不可燃材料－設(shè)備的結(jié)構(gòu)應(yīng)用不可燃性材料所構(gòu)成。如果制程化學(xué)物質(zhì)不允許使用不燃性材料，那么設(shè)備的材料應(yīng)該是合適使用并且與使用之化學(xué)物質(zhì)兼容，使火災(zāi)的風(fēng)險(xiǎn)減至最輕。
2.      制程化學(xué)物質(zhì)危害的消除－設(shè)計(jì)上應(yīng)該考慮非易燃性制程化學(xué)物質(zhì)來替換易燃性化學(xué)物質(zhì)。
3.      利用工程控制－
a.    導(dǎo)因于設(shè)備材料的火災(zāi)危害可以經(jīng)由工程控制的方式減輕（例如：將可燃性的材料與引火源用不可燃性的障礙隔間、安裝滅火系統(tǒng)可以撲滅引火性物質(zhì)。）
b.    火災(zāi)偵測(cè)及滅火系統(tǒng)應(yīng)該與電源及化學(xué)物質(zhì)供應(yīng)保持連鎖裝置，以避免在消防偵測(cè)或是滅火系統(tǒng)閑置時(shí)預(yù)防啟動(dòng)設(shè)備。
c.    利用潔凈室排煙可以用來減輕因?yàn)楫a(chǎn)品燃燒引起火災(zāi)的風(fēng)險(xiǎn)。減輕方法應(yīng)該在火焰延燒時(shí)結(jié)合火警偵測(cè)及滅火系統(tǒng)。
4.      選用火災(zāi)偵測(cè)系統(tǒng)－
a.    火災(zāi)偵測(cè)器、警報(bào)及控制系統(tǒng)應(yīng)該通過核可的測(cè)試實(shí)驗(yàn)室驗(yàn)證及合適的國(guó)際法規(guī)或是標(biāo)準(zhǔn)(如NFPA 72)來安裝。
b.    火災(zāi)偵測(cè)系統(tǒng)應(yīng)該有與廠房的警報(bào)系統(tǒng)相連接之接口。
c.    火災(zāi)偵測(cè)系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)應(yīng)該在設(shè)備端發(fā)出可聽到的聲響及可見到的訊號(hào)。
d.    應(yīng)該考慮火災(zāi)偵測(cè)系統(tǒng)的手動(dòng)啟動(dòng)能力，使得警報(bào)可以傳送至?xí)r常有人工作的場(chǎng)所。
e.    提供一個(gè)備用電源可以維持偵測(cè)系統(tǒng)操作24 小時(shí)。
f.    火災(zāi)偵測(cè)系統(tǒng)應(yīng)該在EMO 啟動(dòng)時(shí)仍然維持功能。
g.    偵測(cè)系統(tǒng)內(nèi)部電力供應(yīng)不能提供延長(zhǎng)維修時(shí)間全部供應(yīng)電力時(shí)，設(shè)備供貨商應(yīng)提供不是移除火災(zāi)危害就是安全地供應(yīng)電力給偵測(cè)系統(tǒng)的文件程序。
h.    火災(zāi)偵測(cè)系統(tǒng)啟動(dòng)應(yīng)該在設(shè)備的最短時(shí)間之內(nèi)允許設(shè)備可以安全的停機(jī)。包括停止任何火災(zāi)相關(guān)危害源（會(huì)對(duì)受影響的模塊或組件產(chǎn)生額外的火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)）。
5.      選用火災(zāi)抑制系統(tǒng)－
a.    火災(zāi)抑制系統(tǒng)包括噴嘴、啟動(dòng)器及相關(guān)的控制設(shè)施，應(yīng)該經(jīng)過合格的測(cè)試實(shí)驗(yàn)室認(rèn)證且其應(yīng)用必須合適。抑制藥劑的選擇應(yīng)該包括對(duì)于無塵室潛在的破壞的估算及選用破壞能力最小的藥劑。藥劑及供應(yīng)系統(tǒng)應(yīng)該依照合適的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)(例如：NFPA 12, NFPA 13, NFPA 2001)。
b.    設(shè)備上啟動(dòng)火災(zāi)抑制系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)該有可以聽到及看見的警報(bào)，這也有可能是由同樣的火警偵測(cè)系統(tǒng)啟動(dòng)。
c.    如果藥劑釋放可能對(duì)人有危險(xiǎn)，警報(bào)發(fā)生時(shí)應(yīng)該有足夠的時(shí)間可以讓人員避免藥劑釋放產(chǎn)生的危害。
d.    如果在設(shè)備內(nèi)部有一個(gè)局限空間，應(yīng)該在該工作場(chǎng)所標(biāo)示滅火系統(tǒng)可能帶來的缺氧風(fēng)險(xiǎn)。
e.    火災(zāi)抑制系統(tǒng)應(yīng)該在EMO 啟動(dòng)時(shí)仍然維持功能。
f.    抑制系統(tǒng)內(nèi)部電力供應(yīng)不能提供延長(zhǎng)維修時(shí)間全部供應(yīng)電力時(shí)，設(shè)備供貨商應(yīng)提供不是移除火災(zāi)危害就是安全地供應(yīng)電力給抑制系統(tǒng)的文件程序。
g.    提供一個(gè)備用電源可以維持抑制系統(tǒng)操作24 小時(shí)。
h.    火災(zāi)抑制系統(tǒng)應(yīng)該有與廠房的警報(bào)系統(tǒng)相連接之接口。
i.    火災(zāi)抑制系統(tǒng)的啟動(dòng)應(yīng)該使設(shè)備在最短的時(shí)間內(nèi)停機(jī)，并且使得設(shè)備可以安全的停機(jī)。
j.    火災(zāi)抑制藥劑管線應(yīng)該由防止腐蝕組件構(gòu)成，設(shè)計(jì)上減輕水在組件附近的累積或是其它促進(jìn)腐蝕的情形，機(jī)械設(shè)計(jì)上容易執(zhí)行檢查；管線的安裝及測(cè)試應(yīng)確認(rèn)其可以承受經(jīng)常性的藥劑釋放的壓力。

警告和安全工作訓(xùn)練方面，設(shè)備供貨商應(yīng)將火災(zāi)偵測(cè)及抑制系統(tǒng)的工作安全要求及警告成為提供文件的一部份。(例如：在火警偵測(cè)系統(tǒng)偵測(cè)的范圍內(nèi)使用明火的限制，在加壓滅火設(shè)備儲(chǔ)存之危害性能量)。

火災(zāi)偵測(cè)及抑制系統(tǒng)的維修和測(cè)試要求：
1.    設(shè)備供貨商應(yīng)該提供詳細(xì)的每個(gè)設(shè)備的火災(zāi)偵測(cè)及抑制系統(tǒng)的維護(hù)及測(cè)試程序，包括測(cè)試頻率。
2.    在無塵室內(nèi)應(yīng)該避免使用產(chǎn)生化學(xué)物質(zhì)的測(cè)試設(shè)備(例如：罐裝的生煙器)。
3.    維護(hù)測(cè)試程序應(yīng)該包括與廠房接口的測(cè)試以及辨識(shí)設(shè)備上之所有的火災(zāi)偵測(cè)及抑制系統(tǒng)均能發(fā)揮功效。
4.    偵測(cè)及抑制系統(tǒng)在設(shè)計(jì)上應(yīng)該可以藉由組件的維護(hù)保養(yǎng)使其成效不致降低(例如：產(chǎn)生偵測(cè)器的破壞)。
5.    設(shè)備供貨商應(yīng)該將藥劑噴射時(shí)的噪音音壓位準(zhǔn)文件化。
6.    作為火災(zāi)偵測(cè)及抑制系統(tǒng)維護(hù)及測(cè)試的材料及程序不應(yīng)該降低設(shè)備執(zhí)行其功能的能力。

環(huán)保要求為「設(shè)備供應(yīng)者應(yīng)該提供使用者設(shè)備的火災(zāi)抑制藥劑釋放時(shí)造成影響的指引?！?/font>

總結(jié)
SEMI S2-0200火災(zāi)防護(hù)規(guī)范
前言
在半導(dǎo)體廠房潔凈室里的意外事故統(tǒng)計(jì)上，以火災(zāi)發(fā)生的次數(shù)最多，也最為嚴(yán)重?；馂?zāi)發(fā)生的原因很多，大部分都與制程設(shè)備有關(guān)，動(dòng)輒數(shù)以億計(jì)的設(shè)備在潔凈室里處處皆是，火災(zāi)發(fā)生所造成的財(cái)物損失與商機(jī)中斷，對(duì)公司的營(yíng)運(yùn)影響十分嚴(yán)重。因此廠商在采購(gòu)設(shè)備時(shí)，如能滿足SEMI S2-0200半導(dǎo)體制造設(shè)備安全衛(wèi)生環(huán)保基準(zhǔn)的要求，會(huì)將發(fā)生火災(zāi)的風(fēng)險(xiǎn)降至最低，其涵蓋的內(nèi)容相當(dāng)?shù)膹V泛，規(guī)范要求也很多，以下僅就第14節(jié) 火災(zāi)防護(hù)做介紹。設(shè)備火災(zāi)防護(hù)除了需要風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估和文件報(bào)告外，也應(yīng)考慮如何減輕風(fēng)險(xiǎn)。設(shè)備結(jié)構(gòu)的材料應(yīng)優(yōu)先使用不可燃材質(zhì)，其次是選擇不能傳播火焰的材質(zhì)。這樣的觀念與SEMI S14（半導(dǎo)體制造設(shè)備火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估與減輕基準(zhǔn)）和NFPA318（潔凈室保護(hù)標(biāo)準(zhǔn)）相同，材料的選用是將火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)降至最低，其與制程化學(xué)物質(zhì)兼容性，也極重要的。減輕結(jié)構(gòu)材料的危害，可使用不可燃性材質(zhì)的屏障，將點(diǎn)火源與可燃性材質(zhì)隔離，當(dāng)然也可使用火災(zāi)偵測(cè)與抑制系統(tǒng)。制程化學(xué)物質(zhì)危害的減輕應(yīng)考慮使用非易燃性化學(xué)品來取代易燃性化學(xué)品。使用工程控制方法來減輕風(fēng)險(xiǎn)，比如說連鎖裝置，當(dāng)電力遽增或化學(xué)品溢散可能造成危害時(shí)，連鎖應(yīng)能在偵測(cè)系統(tǒng)或抑制系統(tǒng)不能正常運(yùn)作時(shí)，防止上述危害發(fā)生。排煙系統(tǒng)將煙抽離潔凈室也是另一種工程控制的方法。利用火災(zāi)偵測(cè)和抑制系統(tǒng)也是如此，但系統(tǒng)的組件應(yīng)能適用在制程設(shè)備上，需經(jīng)過核可的測(cè)試實(shí)驗(yàn)認(rèn)證通過，且要按照合適的標(biāo)準(zhǔn)來安裝并能與廠務(wù)系統(tǒng)連結(jié)。在維修時(shí)，或一個(gè)設(shè)備控制失效時(shí)，或緊急手動(dòng)關(guān)閉按鈕（EMO）按下時(shí)，要能維持正常運(yùn)作。至于滅火動(dòng)作可能對(duì)環(huán)境的危害也應(yīng)在評(píng)估報(bào)告中提出。